半导体领域--美国kaydon薄壁轴承
在如今,以半导体制造业为代表的先进行业的生产加工环境十分复杂,涉及多种因素,一是真空,许多半导体部件的加工都在真空环境中进行,这就对其中运行的轴承提出了前所未有考验,二是清洁,真空环境生产的目的就是为了清洁,所以轴承传统的润滑方式就不再适合,三是腐蚀,半导体制造产生的杂质中,多有酸性特征,其腐蚀性对相关环节轴承亦有较高的要求。但在半导体制造业中,轴承又是不可或缺的,因此这里使用的轴承就需要耐真空,更清洁,更耐用,以及更耐腐蚀。NTN开发了多种半导体制造业轴承专用材质,以及多种在超高真空环境、清洁环境及腐蚀环境中使用的润滑剂,满足了人们对半导体制造业中使用的轴承的期望。这些材质和润滑主要包括马氏体不锈钢、MoS2磷酸盐涂层、特殊PTFE涂层、耐腐蚀涂层、陶瓷涂层等等,主要润滑脂包括低颗粒润滑脂、通用固体润滑脂、食品级、高温、抗放射性润滑脂、导电润滑脂(EP-2)、导电氟润滑脂(EF-2)等等,正是这些新材料,支撑起了半导体制造业用轴承。这些轴承按使用环境可分为三类,一是航空航天设备,真空设备用的通用真空环境用轴承,二是半导体制造设备,LCD面板制造设备用的清洁环境用轴承,三是金属板蚀刻设备,显影剂,清洗设备用的腐蚀环境用轴承,也有三种类型兼备的轴承,这些轴承为半导体工业的发展,提供了重要的支持。