美国KAYDON轴承KAA15XL0半导体设备轴承
半导体制造
Kaydon 拥有工程专业知识，可以为硅芯片制造过程的每个步骤开发精密轴承解决方案。从机器人到机械抛光机再到光刻设备，Kaydon Reali-Slim® 薄截面轴承为更小、更轻、更简单的旋转设备提供了节省空间的设计。
我们广泛选择的 Reali-Slim® 轴承可以定制和优化，以**限度地减少摩擦、排气、污染、腐蚀甚至磨损，而不会牺牲精度。特殊的可选材料和润滑剂可允许工作温度高于 250°C、真空度为 10 -8到 10 -12 Torr、**小化颗粒生成以及对腐蚀性化学环境的耐受性。混合轴承可以改善扭矩特性并延长边缘润滑应用的使用寿命。
Kaydon Super Duplex 轴承组件是高速、平稳扭矩应用的理想解决方案。超级双相轴承具有一个共同的滚道，两个轴承路径同时研磨并一起“跳动”。这种独特的设计有助于消除由轴向跳动变化引起的潜在附加扭矩。Kaydon 盒式轴承组件使这种设计更进一步，具有单个外滚道和单个内滚道，以提供****的扭矩性能。与 Super Duplex 一样，这种设计消除了在使用成对的角接触轴承时可能导致的潜在对齐和定向安装错误。
可以在不增加轴承空间要求的情况下添加护罩或密封件。密封件通常用于大气环境，而屏蔽件则适用于真空和其他超洁净环境。因为防护罩没有完全接触内圈，所以没有扭矩损失或颗粒产生。
轴承
Reali-Slim® 薄壁轴承
超级双相轴承组件
盒式轴承组件
定制轴承
应用
检测设备
晶圆探针
溅射设备
晶圆传送系统
点胶
拾取和放置机器人
测量系统
测试头
定位器
切割设备
研磨设备
真空沉积系统
晶圆步进机
探测站
武器
晶圆修整器
晶圆洗涤器
晶圆抛光机
薄膜沉积系统
CVD系统
蚀刻系统
机械抛光机
大气和真空转移
机器人
测试头
机械手
兆声波清洗系统
旋转干燥机
光刻
机械抛光机
贴片机
